CM300xi

12寸半自动晶圆在片测试系统

Cascade

工作温度范围:-60°C~300°C

Summit 200

8寸全自动晶圆在片测试系统

Cascade

8寸及以下wafer测试，可实现全自动测试

B1505A

功率器件分析仪/曲线追踪仪

Keysight

支持高达 200 A 和 10 kV 高功率晶圆上测试

B1500A

半导体器件参数分析仪

Keysight

最低采样间隔为 5 ns，高达 40 V 的高压脉势

E5071C

矢量网络分析仪

Keysight

130 dB 宽广的动态范围、8 ms 快速测量速度

DSI-LM4000

半自动IC激光标刻机

大族激光

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